SFM3000气体质量流量计Sensirion数字校准集成

每一个质量流量传感器的核心都是一个基于MEMS的热式微传感器，可利用热式原理测量气体流量。传感元件与后续信号处理电路集成在一个芯片上。这种*的集成技术——由与伦比的CMOSens® 技术提供——以非常有吸引力的成本实现出色的性能。

SFM3000以良好的精度和快速响应时间双向测量高达200 slm的空气及其他无腐蚀性气体的流量。该传感器以2 kHz的更新率输出14位数字信号。信号经内部线性化和温度补偿。

SFM3000流量计以5 Vdc电源电压工作，其数字I2C接口便于直接连接微控制器。

SFM3000传感器的性能基于Sensirion的CMOSens® 技术，它将传感器元件、信号处理和数字校准集成在一个微小芯片上。气体流速由热式传感器元件测量，以提供优于其他流量测量技术的扩展动态范围和增强的长期稳定性。

依赖该成熟的CMOSens® 技术，SFM3000非常适合于高品质批量生产，是要求苛刻和成本敏感的OEM应用的理想选择。