SENSIRION液体流量计SLQ-QT105针对半导体应用
SENSIRION液体流量计SLQ-QT105系列针对要求苛刻的涂料系统的定做，是高达120 ml/min流量的烃基液体的半导 体级-传感器解决方案。

该传感器基于Sensirion成熟的热式传感器技术，开辟了灵敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速 响应时间有助于高度动态过程的准确监测，如快速分配操作。该传感器配备4x3mm PFA管件，无运动部件，通过一 个笔直的流道壁进行非侵入性测量。所提供的智能数字接口(如RS485)可实现具有总线能力的远距离通讯。

对于120 ml/min流量的水基液体或高粘度液体，请参阅我们的液体流量计SLQ-QT500。

SENSIRION液体流量计SLQ-QT105性能参数
烃基液体的大流量：120 ml/min
适用于光致抗蚀剂和溶剂
低至低流量的高灵敏度
快速响应时间低至30 ms
RS485、USB或0-10 V模拟电压输出
的耐化学性
惰性触液材质：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
保证纯度
笔直流道，无运动部件
大工作压力：3 bar（可按要求提供高压强等级）

SENSIRION液体流量计SLQ-QT500产品简介
针对高达120毫升/分钟和高粘度流体的多功能液体流量计
SLQ-QT500具有高达120毫升/分钟的流量范围，适合基于水和碳氢化合物液体，如醇类、溶剂、油、燃料和粘合剂 。该传感器是测量含有颗粒或高粘度液体的~选。SLQ-QT500与SCC1传感器电缆组合，便于集成到半导体行业高要 求的镀膜涂层系统，以及其他行业的液体分配和液体流量检测系统中。

高灵敏度和测量速度为快速分配过程的监控提供了新的可能性。传感器使用水或异丙醇（IPA）标定。因热式测量 原理和大内径，SLQ-QT500的测量性能并不取决于粘度本身，所以没有严格的粘度上限或下限（如高达~1000  mm2/s的运动粘度）。只要颗粒不会擦伤石英玻璃管，SLQ-QT500对于含有小颗粒的液体也很理想。

管接头的触液材质是PFA，内流通道的触液材质是石英玻璃。与Sensirion其他液体流量计一样，这种可靠的器件 无运动部件，可通过笔直的流壁测量。

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